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提速离子注入机国产替代步伐

来源:默认部门     作者:新闻中心     发布时间:2020年06月18日              

  编者按:中国电科深入学习领会习近平总书记重要指示,积极贯彻落实全国两会精神,履行央企责任,着力壮大增长点,培植发展新动能,以实干推动高质量发展,在“六稳”“六保”上发挥骨干带动作用。即日起,特开辟“六稳六保·在电科”栏目,以生动鲜活的实例,展现全系统抓实落细“六稳”“六保”,彰显央企担当的坚实行动。

  6月15日,由中国电科装备子集团研制的12英寸中束流离子注入机顺利发往北京某集成电路大产线。该台设备的如期交付,标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶。

  

  离子注入机是集成电路制造至关重要的核心装备,技术难度大,行业竞争壁垒高。

  作为目前国内唯一一家全系列集成电路离子注入机研发、制造、服务于一体的供应商,装备子集团始终致力于解决离子注入机关键技术自主创新难题,已形成中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全系列离子注入机产品体系,具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质,建立了符合SEMI标准要求的离子注入机产业化平台,年产能达30台,产品广泛应用于全球知名芯片制造企业,并获客户高度认可。

  此次交付的12英寸中束流离子注入机,角度控制、剂量控制及设备工艺能力等方面的功能出色,整机性能达到国际同类产品水平。

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